珠海恒格微电子装备有限公司李志强获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海恒格微电子装备有限公司申请的专利一种等离子刻蚀机电极结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414032U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521427954.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子刻蚀机电极结构是由李志强;赵义党;李志华设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子刻蚀机电极结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种等离子刻蚀机电极结构，其包括真空室，真空室内设置有电极组件和挡板，电极组件包括若干竖直且等间距的排列的电极板，挡板位于电极组件的左右两侧，挡板与电极板平行，且挡板到最近的电极板的距离等于两个相邻的电极板之间的距离的一半；这样第一块电路板到第一块电极板的距离等于挡板到第一块电极板的距离，倒数第一块电路板到倒数第一块电极板的距离等于挡板到倒数第一块电极板的距离，挡板到真空室侧壁之间的反应气体不会被立即获取，给第一块电路板倒数第一块电路板创造了和其他中间位置的电路板一样的反应气体环境，使得他们的蚀刻速率保持一致，提高了等离子刻蚀机的刻蚀均匀性。
本实用新型一种等离子刻蚀机电极结构在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀机电极结构，包括真空室100，所述真空室100内设置有电极组件101，所述电极组件101包括若干竖直且等间距的排列的电极板103，其特征在于，所述真空室100内还设置有挡板102，所述挡板102位于所述电极组件101的左右两侧，所述挡板102与所述电极板103平行，且所述挡板102到最近的电极板103的距离等于两个相邻的所述电极板103之间的距离的一半。
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