江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司施钦天获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请的专利一种晶圆状态检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414034U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422022476.7，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆状态检测装置是由施钦天;屠国强;徐铭;刘志鹏;陆赛浩;宋莹瑛设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆状态检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆状态检测装置。包括，升降机构，升降机构具备可沿晶圆层放的方向升降运动的升降体，升降机构的一侧设有沿升降方向固定的梳齿条；晶圆状态检测机构，连接升降体，晶圆状态检测机构包括，对射传感器，设于可沿水平方向运动的框架上，可控制地位于晶圆的两侧，输出升降中被晶圆遮光的第一检测信号；晶圆状态传感器，设于升降体上，输出升降中被梳齿条遮光的第二检测信号。本实用新型通过结合梳齿条和晶圆状态传感器，并配合对射传感器构建双检测机制，可以补偿设备的轻微抖动对传感器检测结果的影响，使检测结果更加准确。
本实用新型一种晶圆状态检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆状态检测装置，其特征在于，包括，升降机构1，所述升降机构1具备可沿晶圆层放的方向升降运动的升降体101，所述升降机构1的一侧设有沿升降方向固定的梳齿条102； 晶圆状态检测机构2，连接所述升降体101，所述晶圆状态检测机构2包括，对射传感器202，设于可沿水平方向运动的框架201上，可控制地位于所述晶圆的两侧，通过所述升降体101带动所述对射传感器202升降运动，所述对射传感器202输出升降中被所述晶圆遮光的第一检测信号； 晶圆状态传感器203，设于所述升降体101上，通过所述升降体101带动所述晶圆状态传感器203升降运动，所述晶圆状态传感器203输出升降中被所述梳齿条102遮光的第二检测信号。
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