芯恩(青岛)集成电路有限公司毛欣宁获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆正反面检测装置和晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414035U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422182857.1，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型晶圆正反面检测装置和晶圆清洗设备是由毛欣宁设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆正反面检测装置和晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆正反面检测装置和晶圆清洗设备。该晶圆正反面检测装置，包括：电阻检测仪与控制器；电阻检测仪与控制器连接；电阻检测仪用于检测晶圆的第一表面的第一电阻值，控制器用于基于第一电阻值与指定的电阻范围确定第一表面是否为晶圆的背面，其中，当第一电阻值位于指定的电阻范围内时，第一表面为晶圆的背面；当第一电阻值位于指定的电阻范围外时，第一表面为晶圆的正面。本申请的技术方案，可以识别晶圆的正反面，使得可以避免将晶圆正面朝下传出晶圆清洗设备的风险。
本实用新型晶圆正反面检测装置和晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆正反面检测装置，其特征在于，包括：电阻检测仪与控制器； 所述电阻检测仪与所述控制器连接； 所述电阻检测仪用于检测晶圆的第一表面的第一电阻值，所述控制器用于基于所述第一电阻值与指定的电阻范围确定所述第一表面是否为所述晶圆的背面； 其中，当所述第一电阻值位于指定的电阻范围内时，所述第一表面为所述晶圆的背面； 当所述第一电阻值位于指定的电阻范围外时，所述第一表面为所述晶圆的正面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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