深圳市思坦科技有限公司姚博获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市思坦科技有限公司申请的专利一种退火装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414039U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422343736.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种退火装置是由姚博设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种退火装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种退火装置，涉及半导体加工技术领域。退火装置包括预混室、退火室和托盘，预混室的一端连接有第一进气管和第二进气管，预混室背离第一进气管的另一端配置有至少一个出气口，第一进气管、第二进气管和至少一个出气口均与预混室内部连通，第一进气管用于连通第一工艺气体，第二进气管用于连通第二工艺气体；退火室一侧配置有与退火室内部连通的至少一个进气口，至少一个进气口与至少一个出气口一一对应连通；托盘设置于退火室中。本申请提供的退火装置可使第一工艺气体和第二工艺气体预混合，以改善退火效果。
本实用新型一种退火装置在权利要求书中公布了：1.一种退火装置，其特征在于，包括： 预混室，所述预混室的一端连接有第一进气管和第二进气管，所述预混室背离所述第一进气管的另一端配置有至少一个出气口，所述第一进气管、所述第二进气管和所述至少一个出气口均与所述预混室内部连通，所述第一进气管用于连通第一工艺气体，所述第二进气管用于连通第二工艺气体； 退火室，所述退火室一侧配置有与所述退火室内部连通的至少一个进气口，所述至少一个进气口与所述至少一个出气口一一对应连通； 托盘，设置于所述退火室中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市思坦科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区工业园路1号1栋凯豪达大厦十三层1309；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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