芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司季伟峰获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利晶圆撕膜机的工作平台和晶圆撕膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414044U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422795505.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆撕膜机的工作平台和晶圆撕膜机是由季伟峰设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆撕膜机的工作平台和晶圆撕膜机在说明书摘要公布了：一种晶圆撕膜机的工作平台和晶圆撕膜机，工作平台用于承载晶圆，包括：吸附环；多个环形部，多个所述环形部依次由内到外套设于所述吸附环内；多个升降部，每一个所述环形部连接一个所述升降部，所述升降部用于带动与之连接的所述环形部升降。本申请通过多个升降部分别带动与之连接的环形部进行升降，使得吸附环和多个环形部既可以构成用来承载常规研磨晶圆的接触式工作平台，也可以构成用来承载鼓形研磨晶圆的非接触式工作平台，实现了对接触式工作平台和非接触式工作平台的兼容，能够满足常规研磨晶圆和鼓形研磨晶圆的作业需求。
本实用新型晶圆撕膜机的工作平台和晶圆撕膜机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆撕膜机的工作平台，所述工作平台用于承载晶圆，其特征在于，所述工作平台包括： 吸附环； 多个环形部，多个所述环形部依次由内到外套设于所述吸附环内； 多个升降部，每一个所述环形部连接一个所述升降部，所述升降部用于带动与之连接的所述环形部升降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-17；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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