深圳众为兴技术股份有限公司姚超智获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳众为兴技术股份有限公司申请的专利组合拆分装置、传输设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223414052U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422554077.5,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型组合拆分装置、传输设备是由姚超智;黄国辉;李俊武;谷坚胜;田魁;黄均标设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本组合拆分装置、传输设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种组合拆分装置、传输设备和组合拆分方法,装置用于载板盘、载板环以及基板的组合拆分,包括:载环台和升降台,载环台形成有通孔,升降台可在竖直方向上活动穿设于通孔;通孔的尺寸大于载板盘的尺寸、小于载板环的外环尺寸,且小于基板的尺寸;基板的尺寸大于载板环的内环尺寸。本申请组合拆分装置能够实现载板盘、载板环以及基板高精度准确的自动组合拆分。
本实用新型组合拆分装置、传输设备在权利要求书中公布了:1.一种组合拆分装置,其特征在于,所述组合拆分装置用于载板盘、载板环以及基板的组合拆分,包括:载环台和升降台,所述载环台形成有通孔,所述升降台可在竖直方向上活动穿设于所述通孔;所述通孔的尺寸大于所述载板盘的尺寸、小于所述载板环的外环尺寸,且小于所述基板的尺寸;所述基板的尺寸大于所述载板环的内环尺寸。
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