沈阳晶睿自动化科技有限公司王玥琦获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳晶睿自动化科技有限公司申请的专利一种在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414061U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422644840.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具是由王玥琦设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体材料加工装备技术领域，且公开了一种在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具，包括卡扣组件和支撑环，所述支撑环的中心处开设有多个螺纹孔和销孔，所述螺纹孔的内侧螺纹连接有主轴，所述主轴的顶部设置有硅胶垫片，该在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具，通过螺纹孔和销孔的开设便于主轴的更换，卡块设置为鹰头状，其下部结构较重，从而使得卡块在主轴高速旋转时能够更有效地压紧晶圆，防止晶圆因离心力而脱落，卡扣支架一端有螺纹孔与支撑环相连接，凹槽间相互对应配合连接，便于卡扣支架的更换，从而达到便于根据实际应用场景进行替换夹具，方便固定不同尺寸的晶圆的效果。
本实用新型一种在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具在权利要求书中公布了：1.一种在高速旋转时自动夹持晶圆的夹具，其特征在于：包括卡扣组件1和支撑环2，所述支撑环2的中心处开设有多个螺纹孔和销孔，所述螺纹孔的内侧螺纹连接有主轴3，所述主轴3的顶部设置有硅胶垫片4。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳晶睿自动化科技有限公司，其通讯地址为：113122 辽宁省沈阳市沈抚示范区伯官大街77-7号4门；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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