珠海镓未来科技有限公司郭超凡获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海镓未来科技有限公司申请的专利一种氮化镓功率器件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223415189U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422797138.0，技术领域涉及：H10D30/47；该实用新型一种氮化镓功率器件是由郭超凡;张铭宏;王中党设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化镓功率器件在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种氮化镓功率器件，包括氮化镓衬底、第一介质层、介质叠层及绝缘层。第一介质层设置在所述氮化镓衬底上；第一介质层设置有源极欧姆金属和漏极欧姆金属；所述源极欧姆金属和所述漏极欧姆金属的上层表面均设置有氮化钛金属层；介质叠层设置在所述第一介质层上，所述介质叠层设置有栅极金属，所述栅极金属周围设置有栅极场板；绝缘层设置在所述介质叠层和所述栅极场板上。欧姆金属的顶部设置有氮化钛金属层，氮化钛金属层在通过刻蚀形成漏极和源极欧姆金属的过程中作为抗反射层，能够提高刻蚀精度，从而提高漏极和源极欧姆金属轮廓的准确度，利于实现更小的器件尺寸，增加单片晶圆的器件数量并降低成本。
本实用新型一种氮化镓功率器件在权利要求书中公布了：1.一种氮化镓功率器件，其特征在于，包括： 氮化镓衬底； 第一介质层，设置在所述氮化镓衬底上，所述第一介质层包括源极设置孔以及漏极设置孔，所述源极设置孔中设置有源极欧姆金属，所述漏极设置孔中设置有漏极欧姆金属；所述源极欧姆金属和所述漏极欧姆金属的上层表面均设置有氮化钛金属层； 介质叠层，设置在所述第一介质层上，所述介质叠层在所述源极设置孔的区域设置有源极接触通孔、在所述漏极设置孔的区域设置有漏极接触通孔；所述介质叠层设置有栅极设置孔，所述栅极设置孔中设置有栅极金属，所述栅极金属周围设置有栅极场板；以及，绝缘层，设置在所述介质叠层和所述栅极场板上，所述绝缘层在所述源极设置孔的区域设置有源极通孔、在所述漏极设置孔的区域设置有漏极通孔、在所述栅极设置孔的区域设置有栅极接触通孔。
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