买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109962027B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811528006.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由毛利信彦;小原隆宪;泷口靖史;小玉辉彦设计研发完成，并于2018-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种强力地清洗基板的基板处理装置和基板处理方法。实施方式所涉及的基板处理装置具备保持部、第一清洗体、第一移动机构、第二清洗体、第二移动机构以及控制部。保持部保持基板。第一清洗体通过向被保持于保持部的基板的上表面和下表面中的一个面喷出流体、或者与所述一个面接触来清洗一个面。第一移动机构使第一清洗体水平移动。第二清洗体与被保持于保持部的基板的上表面和下表面中的另一个面接触来清洗另一个面。第二移动机构使第二清洗体水平移动。控制部控制第一移动机构和第二移动机构，执行使对一个面喷出流体或者与一个面接触的第一清洗体和与另一个面接触的第二清洗体同步地水平移动的两面清洗处理。

本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备： 保持部，其将基板保持为水平； 第一清洗体，其与被保持于所述保持部的所述基板的上表面和下表面中的一个面接触来清洗所述一个面； 第一移动机构，其使所述第一清洗体水平移动； 第二清洗体，其与被保持于所述保持部的所述基板的上表面和下表面中的另一个面接触来清洗所述另一个面； 第二移动机构，其使所述第二清洗体水平移动；以及 控制部，其控制所述第一移动机构和所述第二移动机构，执行使与所述一个面接触了的所述第一清洗体同与所述另一个面接触了的所述第二清洗体同步地水平移动的两面清洗处理， 其中，所述控制部控制所述第一移动机构和所述第二移动机构，以维持与所述一个面接触了的所述第一清洗体同与所述另一个面接触了的所述第二清洗体重合的状态的方式，使所述第一清洗体和所述第二清洗体水平移动， 所述第一清洗体与所述基板的上表面接触来清洗所述上表面， 所述第二清洗体与所述基板的下表面接触来清洗所述下表面， 所述控制部执行以下处理作为所述两面清洗处理，所述处理为：维持在从基板的厚度方向观察被保持于所述保持部的所述基板的俯视时所述第一清洗体与所述上表面的接触面同所述第二清洗体与所述下表面的接触面重合的状态，在维持该状态的同时使所述第一清洗体和所述第二清洗体水平移动， 所述第一移动机构使所述第一清洗体能够升降， 所述第二移动机构使所述第二清洗体能够升降， 所述基板处理装置还具备负荷检测部，所述负荷检测部检测所述第一清洗体针对所述上表面的推压力或所述第二清洗体针对所述下表面的推压力， 所述控制部将所述第一清洗体和所述第二清洗体中的一方配置在预先决定的高度位置，基于所述负荷检测部的检测结果来调整所述第一清洗体和所述第二清洗体中的另一方的高度位置，以使得在使所述第一清洗体与所述第二清洗体同步地水平移动的期间，所述第一清洗体针对所述上表面的推压力与所述第二清洗体针对所述下表面的推压力为相同的大小。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。