应用材料公司锡瓦库马尔·达丹帕尼获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于抛光垫磨损率监测的预测滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111132802B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880062268.4，技术领域涉及：B24B49/10；该发明授权用于抛光垫磨损率监测的预测滤波器是由锡瓦库马尔·达丹帕尼;钱隽设计研发完成，并于2018-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于抛光垫磨损率监测的预测滤波器在说明书摘要公布了：公开一种用于化学机械抛光的装置，该装置包括：台板，具有表面以支撑抛光垫；载体头，以将基板固定为抵靠该抛光垫的抛光面；垫调节器，用来将调节盘固定为抵靠该抛光面；原位抛光垫厚度监测系统；和控制器，被配置为从该监测系统接收信号并通过将预测滤波器应用至该信号来产生抛光垫磨损率的测量。
本发明授权用于抛光垫磨损率监测的预测滤波器在权利要求书中公布了：1.一种用于化学机械抛光的装置，包括： 台板，具有表面以支撑抛光垫； 载体头，用于将基板固定为在第一位置处抵靠该抛光垫的抛光面； 垫调节器，用于将调节盘固定为抵靠该抛光面； 原位抛光垫厚度监测系统，所述原位抛光垫厚度监测系统用于在多个基板的抛光过程中产生取决于垫厚度的多个信号；和 控制器，被配置为从该原位抛光垫厚度监测系统接收在多个基板的抛光过程中的该多个信号并通过将预测滤波器应用至该多个信号来产生在多个基板的抛光过程中的抛光垫磨损率测量， 其中该原位抛光垫厚度监测系统包括电磁感应监测系统，该电磁感应监测系统具有位于该台板中的传感器和被安置为在与所述第一位置横向间隔开的第二位置处与该抛光垫的该抛光面接触的导体； 其中该控制器进一步被配置为： 排除该多个信号中的来自该传感器不在该导体下方的时期的部分或排除该多个信号中的由沿着该导体的边缘穿过的该传感器所造成的部分， 若该抛光垫磨损率测量超过阈值则产生指示该调节盘需要被更换的警报，或基于该抛光垫磨损率测量来调整该垫调节器在该调节盘上的下压力，以维持实质恒定的磨损率。
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