罗伯特·博世有限公司C·赫尔梅斯获国家专利权
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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利用于封闭MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111655608B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880088165.5，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于封闭MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法是由C·赫尔梅斯;J·布茨;B·格尔设计研发完成，并于2018-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于封闭MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于封闭在MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供在所述柔性膜片中的至少一个开口，‑将封闭材料布置在所述至少一个开口的区域中，‑至少使施加在所述至少一个开口的区域中的所述封闭材料熔化并且随后使熔化的材料冷却以用于封闭所述至少一个开口。
本发明授权用于封闭MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法在权利要求书中公布了：1.用于封闭在MEMS元件1的柔性膜片2中的开口6的方法，所述方法包括以下步骤： -提供在所述柔性膜片2中的至少一个开口6， -将封闭材料8布置在所述至少一个开口6的区域中， -至少使施加在所述至少一个开口6的区域中的所述封闭材料8熔化并且随后使熔化的材料8冷却以用于封闭所述至少一个开口6，其中，借助于激光射束9、9a、9b、9b‘、9c使所述封闭材料8运动到所述至少一个开口6的区域中，其方式是，所述激光射束9、9a、9b、9b‘、9c和所述柔性膜片2的平面相对彼此倾斜地布置，借助于斜着入射的所述激光射束9、9a、9b、9b‘、9c使布置在所述至少一个开口6旁边的所述封闭材料8移动到所述至少一个开口6上，然后借助于所述激光射束9、9a、9b、9b‘、9c加热该封闭材料8，所述封闭材料8由此被熔化并且在冷却后封闭所述至少一个开口6。
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