朗姆研究公司克里斯多夫·W·伯克哈特获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利占用面积减小的晶片搬运平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112335030B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980041184.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权占用面积减小的晶片搬运平台是由克里斯多夫·W·伯克哈特;理查德·H·古尔德;坎迪·克里斯托弗森;迈克尔·诺丁;理查德·M·布兰克;安海博信设计研发完成，并于2019-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本占用面积减小的晶片搬运平台在说明书摘要公布了：一种系统包含设备前端模块EFEM、真空传送模块VTM、多个四重站处理模块QSM。EFEM被构造成接收多个晶片。EFEM包含EFEM传送机械手。真空传送模块VTM被构造成从EFEM接收多个晶片。VTM包含VTM传送机械手。多个四重站处理模块QSM耦合至VTM。VTM传送机械手被构造成在VTM与多个QSM之间传送晶片。EFEM传送机械手被构造成在EFEM与VTM之间传送晶片。
本发明授权占用面积减小的晶片搬运平台在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包含： 真空传送模块，其被构造成接收多个晶片，所述真空传送模块包含真空传送模块传送机械手； 多个四重站处理模块，其耦合至所述真空传送模块，所述真空传送模块传送机械手被构造成在所述真空传送模块与所述多个四重站处理模块之间传送晶片； 系统控制器，其耦合至所述真空传送模块传送机械手，所述系统控制器被构造成控制所述真空传送模块传送机械手的操作以及所述多个四重站处理模块的各自的机械转位装置的旋转中的至少一者；以及 第一大气传送机械手，其被构造成将批量的晶片传送通过第一晶片平面，所述第一晶片平面从第二大气传送机械手上方的一或更多个经升高的装载端口中的一个装载端口延伸至位于能竖直移动的双气锁真空盒升降器上方的服务门； 所述服务门和下服务门，其提供往来于所述真空传送模块的访问，所述下服务门使得晶片能在真空下从所述真空盒升降器移动至所述真空传送模块；以及 所述真空传送模块传送机械手被构造成在所述真空传送模块内沿着第二晶片传送平面传送所述晶片。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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