科磊股份有限公司安迪(安德鲁)·希尔获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利同时捕捉来自多个目标的重叠信号获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112432926B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011221908.7，技术领域涉及：G02B27/42；该发明授权同时捕捉来自多个目标的重叠信号是由安迪(安德鲁)·希尔;阿姆农·玛纳森;尤里·帕斯卡维尔;尤瓦尔·卢巴舍夫斯基设计研发完成，并于2017-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本同时捕捉来自多个目标的重叠信号在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及同时捕捉来自多个目标的重叠信号。本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及或所述照明源及或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。
本发明授权同时捕捉来自多个目标的重叠信号在权利要求书中公布了：1.一种计量系统，其包括： 具有照明路径及收集路径的光学系统，且在所述收集路径的光瞳平面处具有至少一个检测器，其中所述光学系统在其所述收集路径的至少一个场平面处包括至少一个光学元件，所述至少一个光学元件经配置以将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像，所述至少两个光瞳平面分别对应于不同目标，其中所述场平面在所述光学系统中与晶片上的目标光学共轭，且其中所述光瞳平面相对于所述至少两个光瞳平面图像中的目标等效于傅里叶平面。
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