聚昌科技股份有限公司林志隆获国家专利权
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龙图腾网获悉聚昌科技股份有限公司申请的专利作用线圈选择式的蚀刻机结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113130349B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010027563.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权作用线圈选择式的蚀刻机结构是由林志隆;蔡兆哲;陈俊龙设计研发完成，并于2020-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本作用线圈选择式的蚀刻机结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种作用线圈选择式的蚀刻机结构，其包括：第一等离子反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一C型线圈，排列于第一反应腔室的外围，并具有第一输入端部及第一控制端部，且第一控制端部是与接地端接地连接；以及第一电源模块，借由第一开关，选择性的与第一输入端部电性连接。借由本发明的实施，可以动态的完成反应腔室壁体上，各个不同部位沉积物的清理。
本发明授权作用线圈选择式的蚀刻机结构在权利要求书中公布了：1.一种作用线圈选择式的蚀刻机结构，其特征在于，其包括： 第一等离子反应腔体，其具有第一反应腔室； 多个第一C型线圈，其是上、下排列于该第一反应腔室的外围，又每一该第一C型线圈具有第一输入端部及第一控制端部，且所述第一控制端部是相互电性连接后又各自分别与接地端接地连接；以及 第一电源模块，其借由第一开关，选择性的与该第一输入端部电性连接； 其中每一该第一控制端部与该接地端间串联有第一接地开关及电容，借由多个该第一接地开关控制多个该电容的并联数量，以达成容抗及电流量的改变。
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