应用材料以色列公司H·费尔德曼获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利获得关于对象的区域的信息的计算机化系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113348484B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080009755.1,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权获得关于对象的区域的信息的计算机化系统及方法是由H·费尔德曼;E·内斯坦;H·伊兰;S·阿拉德;I·阿尔莫格设计研发完成,并于2020-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本获得关于对象的区域的信息的计算机化系统及方法在说明书摘要公布了:一种提供关于样品的区域的信息的方法、系统及计算机可读取介质。方法包括i通过成像仪获得区域的多个图像;其中多个图像通过至少一个参数而彼此不同;ii接收或产生多个参考图像;iii产生代表多个图像和多个参考图像之间的差异的多个差异图像;iv计算一组区域像素属性;v基于多个区域像素的多组区域像素属性,计算一组噪声属性;以及vi基于像素的该组噪声属性和该组区域像素属性之间的关系,对每一个区域像素确定区域像素是否代表缺陷。
本发明授权获得关于对象的区域的信息的计算机化系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种获得关于样品的区域的信息的方法,所述方法包含: 通过成像仪获得所述区域的多个图像;其中所述多个图像通过从以下中选择出的至少一个参数而彼此不同:照明光谱、收集光谱、照明偏振、收集偏振、照明角度、收集角度和感测类型;其中获得所述多个图像包含:照明所述区域并且从所述区域收集辐射;其中所述区域包含多个区域像素; 接收或产生多个参考图像; 通过图像处理器产生代表所述多个图像和所述多个参考图像之间的差异的多个差异图像; 对所述多个区域像素中的每一个区域像素计算一组区域像素属性;其中所述计算是基于所述多个差异图像的像素; 基于所述多个区域像素的多组区域像素属性,计算一组噪声属性;以及 基于所述像素的所述组噪声属性和所述组区域像素属性之间的关系,对每一个区域像素确定所述区域像素是否代表缺陷, 其中通过计算协方差矩阵来计算所述组噪声属性;并且,其中计算所述协方差矩阵包含:对每一个区域像素计算一组协方差值,所述组协方差值代表在所述区域像素的所述组区域像素属性的不同属性之间的协方差;以及基于所述多个区域像素的多组协方差值,计算给定的协方差矩阵。
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