三星显示有限公司车载贤获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利激光束退火装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113644006B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010933338.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权激光束退火装置是由车载贤;朴美敬;李感察;全文煐;崔京植设计研发完成，并于2020-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光束退火装置在说明书摘要公布了：本发明涉及能够呈现高品质的多晶硅层的激光束退火装置，提供一种激光束退火装置，配备有：激光束源，能够发出激光束；均化器，位于从所述激光束源发出的激光束的光路径上；投影透镜部，位于通过所述均化器的激光束的光路径上；密封壳体，收纳所述投影透镜部，并且具有能够使通过所述投影透镜部的激光束通过的密封开口；密封透镜，位于所述密封开口，具有凸透镜和凹透镜中的任意一个；退火壳体，收纳待退火的基板，并且具有能够使通过所述密封透镜的激光束通过的退火开口；以及退火透镜，位于所述退火开口，具有所述凸透镜和凹透镜中的另一个。
本发明授权激光束退火装置在权利要求书中公布了：1.一种激光束退火装置，配备有： 激光束源，能够发出激光束； 均化器，位于从所述激光束源发出的激光束的光路径上； 投影透镜部，位于通过所述均化器的激光束的光路径上，并包括多个透镜； 密封壳体，收纳所述投影透镜部，并且具有能够使通过所述投影透镜部的激光束通过的密封开口； 密封透镜，位于所述密封开口，具有凸透镜和凹透镜中的任意一个； 退火壳体，收纳待退火的基板，并且具有能够使通过所述密封透镜的激光束通过的退火开口；以及 退火透镜，位于所述退火开口，具有所述凸透镜和凹透镜中的另一个。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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