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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器有限公司申请的专利一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156196B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010926525.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置是由刘海洋;刘小波;胡冬冬;程实然;郭颂;张霄;许开东设计研发完成，并于2020-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置，升降旋转台装置包括封闭壳体、转轴、旋转驱动单元和升降驱动单元；封闭壳体包括上部壳体、下部壳体和中部波纹管；中部波纹管的上端与上部壳体密封连接；中部波纹管的下端与下部壳体密封连接；转轴穿过上部壳体上端的轴孔布置；转轴与轴孔之间设置有动密封；转轴位于封闭壳体外部的上端设置有用于载片台；旋转驱动单元安装于上部壳体内；旋转驱动单元用于驱动转轴沿轴孔旋转；升降驱动单元安装于下部壳体内；升降驱动单元用于驱动转轴沿轴向升降；且转轴、上部壳体及旋转驱动单元同步升降。本发明可以调整晶圆距离栅网的距离，使晶圆各直径范围内的刻蚀量趋于一致，优化晶圆整体均一性。

本发明授权一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置在权利要求书中公布了：1.一种用于真空刻蚀腔体内的升降旋转台装置，其特征在于：包括封闭壳体、转轴2、旋转驱动单元和升降驱动单元； 所述封闭壳体包括上部壳体101、下部壳体和中部波纹管103；所述上部壳体101位于下部壳体的上方；所述中部波纹管103的上端与上部壳体101密封连接；所述中部波纹管103的下端与下部壳体密封连接；所述上部壳体101的上端设置有轴孔101a； 所述转轴2穿过轴孔101a布置；所述转轴2与轴孔101a之间设置有动密封；所述转轴2位于封闭壳体外部的上端设置有用于放置晶圆的载片台204；所述转轴2与上部壳体101之间还设置有第一轴向限位机构； 所述旋转驱动单元安装于上部壳体101内；所述旋转驱动单元用于驱动转轴2沿轴孔101a旋转； 所述升降驱动单元安装于下部壳体内；所述升降驱动单元用于驱动转轴2沿轴向升降；且所述转轴2与上部壳体101通过第一轴向限位机构同步升降，且所述旋转驱动单元跟随上部壳体101同步升降； 所述旋转驱动单元是中空环式电机；所述中空环式电机的转子301与转轴2固定连接；所述中空环式电机的定子302与上部壳体101固定连接；且所述中空环式电机作为转轴2与上部壳体101之间的第一轴向限位机构。

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