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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利立式热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111414358.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权立式热处理设备是由李洪利;陈振伟设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本立式热处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种立式热处理设备，包括壳体、工艺腔体、连接装置和工艺门，其中：壳体包括承载板和内腔，沿壳体的高度方向，承载板将内腔由上至下分隔为加热腔室和微环境腔室，加热腔室与微环境腔室连通；工艺门用于在装配工艺腔体时将工艺腔体部分送入加热腔室中；连接装置为多个，多个连接装置沿工艺腔体的周向布置；连接装置包括第一连接件、第二连接件和弹性件，第一连接件与工艺腔体相连，第二连接件用于与承载板相连，弹性件连接在第一连接件与第二连接件之间；在工艺门带动工艺腔体上升且第二连接件与承载板相抵接的情况下，弹性件通过压缩而允许第一连接件与第二连接件之间的相对移动。上述方案能够解决相关技术中工艺腔体易受损的问题。

本发明授权立式热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种立式热处理设备，其特征在于，包括壳体、工艺腔体、连接装置和工艺门，其中： 所述壳体包括承载板和内腔，沿所述壳体的高度方向，所述承载板将所述内腔由上至下分隔为加热腔室和微环境腔室，所述加热腔室与所述微环境腔室连通；所述工艺门用于在装配所述工艺腔体时将所述工艺腔体部分送入所述加热腔室中； 所述连接装置为多个，多个所述连接装置沿所述工艺腔体的周向布置；所述连接装置包括第一连接件、第二连接件和弹性件，所述第一连接件与所述工艺腔体相连，所述第二连接件用于与所述承载板相连，所述弹性件连接在所述第一连接件与所述第二连接件之间； 在所述工艺门带动工艺腔体上升且所述第二连接件与所述承载板相抵接的情况下，所述弹性件通过压缩而允许所述第一连接件与所述第二连接件之间的相对移动; 所述连接装置还包括连杆；所述第二连接件具有贯通的台阶孔，所述台阶孔的轴向位于所述连接装置的高度方向上； 所述连杆与所述第一连接件相连，所述连杆背离所述第一连接件的第一端设置于所述台阶孔中，所述第一连接件的第一端设置有限位部，所述限位部可与所述台阶孔的台阶面限位配合。

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