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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于在等离子体处理期间调整表面反应的动力模型的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114190100B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056206.X，技术领域涉及：G01N23/201；该发明授权用于在等离子体处理期间调整表面反应的动力模型的系统及方法是由A·A·阿加瓦尔;C·于阿尔;张依婷;浦海峰;李鑫;P·潘内尔切万;F·韩;陈岳瑞设计研发完成，并于2020-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于在等离子体处理期间调整表面反应的动力模型的系统及方法在说明书摘要公布了：根据本公开的一或多个实施例，公开一种系统。所述系统包含经配置以获取样本的一部分的一或多个测量的计量工具。所述系统包含控制器，其包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令致使所述一或多个处理器：基于表面动力模型产生表面动力模型输出；确定所述表面动力模型输出对通过偏振光的激发的预期响应；比较经确定预期响应与所述一或多个测量；基于所述经确定预期响应与所述样本的所述一或多个测量之间的所述比较产生一或多个度量；调整所述表面动力模型的一或多个参数以产生经调整表面动力模型；及在等离子体处理期间应用所述经调整表面动力模型以模拟样本上性能。

本发明授权用于在等离子体处理期间调整表面反应的动力模型的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种系统，其包括： 计量工具，其中所述计量工具经配置以获取样本的一部分的一或多个测量；及 控制器，其通信地耦合到所述计量工具，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令致使所述一或多个处理器： 基于表面动力模型产生表面动力模型输出，其中所述表面动力模型是基于所述表面动力模型的一或多个参数的初始猜测运行； 使用所述表面动力模型的一或多个额外参数确定所述表面动力模型输出对通过偏振光的激发的预期响应，其中所述一或多个额外参数包括在所述表面动力模型的一或多个参数的所述初始猜测运行期间没有被使用的一或多个参数； 比较经确定预期响应与从所述计量工具接收的所述样本的所述一或多个测量； 基于所述经确定预期响应与所述样本的所述一或多个测量之间的所述比较产生一或多个度量； 基于所述一或多个度量调整所述表面动力模型的所述一或多个参数以产生经调整表面动力模型； 在所述样本的等离子体处理期间应用所述经调整表面动力模型以模拟样本上性能；及 产生经配置以基于所述经调整表面动力模型选择性地调整一或多个制程工具的一或多个特性的一或多个控制信号。

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