株式会社斯库林集团上田晃颂获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242612B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111038519.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权热处理装置是由上田晃颂;三宅浩志;布施和彦;谷村英昭设计研发完成，并于2021-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供能够防止光扩散板的滑动的热处理装置。在设置于容纳半导体晶片的腔室的上部的石英的上侧腔室窗63的上表面载置有石英的光扩散板90。光扩散板90的下表面被实施喷丸加工而成为磨砂玻璃。在光扩散板90载置于上侧腔室窗63的上表面时双方不紧贴。即使进入光扩散板90与上侧腔室窗63之间的接触面的空气团在半导体晶片热处理时发生热膨胀，也会通过光扩散板90的下表面的磨砂玻璃而被排出至外部。其结果是，能够抑制产生在光扩散板90与上侧腔室窗63之间夹入薄空气层的现象，从而能够防止因空气层而引起的光扩散板90的滑动。
本发明授权热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，通过将光照射至基板而加热该基板，其特征在于，包括： 容纳基板的腔室； 保持部，在所述腔室内保持所述基板； 光照射部，设置于所述腔室的上方侧，将光照射至保持于所述保持部的所述基板； 石英窗，设置于所述腔室的上部，使从所述光照射部射出的光向所述腔室内透过；以及 光扩散板，载置于所述石英窗的上表面地设置，将从所述光照射部射出的光扩散； 在所述石英窗或所述光扩散板上设置有释放在所述石英窗与所述光扩散板之间的接触面滞留的空气的空气释放机构， 所述空气释放机构为以贯通所述光扩散板的上下表面的方式设置的贯通孔。
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