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株式会社V技术水村通伸获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社V技术申请的专利缺陷部识别装置及缺陷部识别方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114270179B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080058129.1,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权缺陷部识别装置及缺陷部识别方法是由水村通伸设计研发完成,并于2020-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。

缺陷部识别装置及缺陷部识别方法在说明书摘要公布了:本发明能够机械识别多层膜基板中的缺陷部的状态,且能够进行不受操作者的技能影响的修正加工。缺陷部识别装置具备:显微镜,对多层膜基板的表面照射白色落射光,而在表面获得识别缺陷部的单位区域的放大像;光谱分光摄像机,具有成像放大像的摄像面,且按摄像面的每个像素输出放大像的分光光谱信息;及信息处理部,处理从光谱分光摄像机输出的分光光谱信息,信息处理部具备:机械学习部,对每个像素的分光光谱信息进行聚类处理;及缺陷识别部,根据机械学习部的处理结果来识别缺陷部,机械学习部根据单位区域内所存在的层结构来设定集群,并生成将聚类于集群的像素数作为频数的直方图,缺陷识别部将所生成的直方图的频数分布与不存在缺陷的直方图的频数分布进行比较,并通过具有频数差的集群的存在来识别缺陷部。

本发明授权缺陷部识别装置及缺陷部识别方法在权利要求书中公布了:1.一种缺陷部识别装置,其特征在于,具备: 显微镜,对多层膜基板的表面照射白色落射光,而在所述表面获得识别缺陷部的单位区域的放大像; 光谱分光摄像机,具有成像所述放大像的摄像面,且按该摄像面的每个像素输出所述放大像的分光光谱信息;及 信息处理部,处理从所述光谱分光摄像机输出的分光光谱信息, 所述信息处理部具备:机械学习部,对所述每个像素的分光光谱信息进行聚类处理;及缺陷识别部,根据该机械学习部的处理结果来识别缺陷部, 该机械学习部根据所述单位区域内所存在的层结构来设定集群,并生成将聚类于该集群的像素数作为频数的直方图, 所述缺陷识别部将所生成的所述直方图的频数分布与不存在缺陷的直方图的频数分布进行比较,并通过具有频数差的集群的存在来识别缺陷部, 在所述多层膜基板中,在所述多层膜基板的表面反射的光因所述多层膜基板的表层的差异以及因与在所述多层膜基板的多层膜的各层界面反射的光发生干涉而显示出层结构特有的光谱分布。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社V技术,其通讯地址为:日本神奈川县横滨市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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