应用材料公司朱作明获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利基板处理监控获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114270487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080053036.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理监控是由朱作明;刘树坤;阿拉·莫拉迪亚;朱恩乐;芙洛拉·芳-松·张;维伦·K·内斯托洛夫;叶祉渊;宾杜萨加·马拉·圣卡拉通;马克西姆·D·沙波什尼科夫;苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦;丛者澎;帕特里夏·M·刘;埃罗尔·C·桑切斯;詹妮·C·林;舒伯特·S·楚;巴拉克里希南·R·贾姆帕纳设计研发完成，并于2020-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理监控在说明书摘要公布了：一种用于在处理腔室内处理基板的方法，包含以下步骤：接收与设置在处理腔室内的目标元件上的膜相对应的第一辐射信号；分析第一辐射信号；和基于分析的第一辐射信号来控制基板的处理。处理腔室包括：基板支撑件，配置成将基板支撑在处理空间内；和控制器，耦合到配置成接收第一辐射信号的第一感测装置。
本发明授权基板处理监控在权利要求书中公布了：1.一种用于在处理腔室内处理基板的方法，所述方法包含以下步骤： 在处理所述基板的同时，接收与设置在所述处理腔室内的目标元件上的第一膜相对应的第一辐射信号，其中所述目标元件与所述基板不同； 在处理所述基板的同时，通过分析所述第一辐射信号确定在所述基板上的第二膜的厚度；和 基于分析的所述第一辐射信号来控制所述基板的所述处理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励