买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利校准装置及校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300404B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111659572.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权校准装置及校准方法是由茅兴飞;黄海涛;李岩;许金基设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本校准装置及校准方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种校准装置及校准方法，涉及半导体领域。一种校准装置包括：校准装置本体和定位组件；校准装置本体一侧设有安装槽，安装槽的底壁为承载面，安装槽的侧壁为第一定位面；校准装置本体另一侧设有定位槽，定位槽和卡盘配合，以使承载面的轴线和卡盘的顶面的轴线重合；定位组件包括可拆卸地设置于校准装置本体的第一定位件和第二定位件，第一定位件上形成有导向部，导向部用于校准偏角值；第二定位件用于校准伸展值；第一定位件和或第二定位件具有第二定位面，第二定位面用于校准高度值。一种校准方法，应用于校准装置。本申请能够解决机械手控制手柄操作和目测结合的校准方式导致晶圆与卡盘同心度偏差较大的问题。

本发明授权校准装置及校准方法在权利要求书中公布了：1.一种校准装置100，用于校准晶圆600放置于卡盘400上的位置，其特征在于，包括：校准装置本体110和定位组件120； 所述校准装置本体110的顶面沿自身轴向的一侧设有安装槽111，所述安装槽111的底壁作为支撑所述晶圆600的承载面1111，所述安装槽111的侧壁作为定位所述晶圆600的第一定位面1112；所述校准装置本体110底面沿自身轴向的一侧设有定位槽112，所述定位槽112用于和所述卡盘400的顶面配合，以使所述承载面1111的轴线和所述卡盘400的顶面的轴线重合； 所述定位组件120包括分别以可拆卸的方式设置于所述校准装置本体110顶面上的第一定位件121和第二定位件122，所述第一定位件121上形成有导向部，所述导向部用于使传输装置200的传输端部按照预设方向移动，以校准所述传输装置200的偏角值； 所述第二定位件122用于使所述传输端部停止在目标位置，以校准所述传输装置200的伸展值； 所述第一定位件121和或所述第二定位件122背离所述承载面1111的端面为第二定位面1211，所述第二定位面1211用以校准所述传输装置200在所述校准装置本体110轴向上的高度值； 所述传输端部设有定位凹槽210，所述定位凹槽210具有沿所述预设方向设置的槽口端211和槽底端212； 在所述传输端部沿所述预设方向移动的情况下，所述槽底端212可靠近所述第二定位件122； 在所述传输端部移动至所述目标位置的情况下，所述槽底端212与所述第二定位件122贴合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。