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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种通知事件的路由方法和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114385383B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111620241.2，技术领域涉及：G06F9/54；该发明授权一种通知事件的路由方法和半导体工艺设备是由马剑设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种通知事件的路由方法和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种通知事件的路由方法，该方法包括：通过N级数据承载容器监测目标系统中变量的变量状态，所述N为大于1的整数；在检测到所述变量状态满足预设条件的情况下，触发通知事件；将所述通知事件传递至N‑1级数据承载容器，由N‑1级数据承载容器处理所述通知事件；所述N‑1级数据承载容器对应至少一个N级数据承载容器；在所述N‑1级数据承载容器完成对所述通知事件的处理的情况下，将所述通知事件逐级传递至一级数据承载容器；通过所述一级数据承载容器对每个所述数据承载容器广播所述通知事件。根据本发明的实施例，可以高效管理通知事件的传播及处理。

本发明授权一种通知事件的路由方法和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种通知事件的路由方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，所述方法包括： 通过N级数据承载容器监测目标系统中变量的变量状态，所述N为大于1的整数，所述数据承载容器用于负责数据逻辑加载； 在检测到所述变量状态满足预设条件的情况下，触发通知事件； 将所述通知事件传递至N-1级数据承载容器，由N-1级数据承载容器处理所述通知事件；所述N-1级数据承载容器对应至少一个N级数据承载容器； 在所述N-1级数据承载容器完成对所述通知事件的处理的情况下，将所述通知事件逐级传递至一级数据承载容器； 通过所述一级数据承载容器对每个所述数据承载容器广播所述通知事件； 所述将所述通知事件逐级传递至一级数据承载容器，包括： 所述N级数据承载容器和所述一级数据承载容器之间的各级数据承载容器依次判断是否需要向上一级数据承载容器传递所述通知事件，在需要时，才向所述上一级数据承载容器传递所述通知事件； 所述通过所述一级数据承载容器对每个所述数据承载容器广播所述通知事件，包括： 根据传递路径，确定所述一级数据承载容器至所述N级数据承载容器中的各级所述数据承载容器是否需要处理所述通知事件，在需要时，各级所述数据承载容器才处理所述通知事件。

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