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龙图腾网获悉四川众班科技有限公司申请的专利光罩智能检测清洁存储设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114394333B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210078128.4，技术领域涉及：G03F1/82；该发明授权光罩智能检测清洁存储设备是由刘志林设计研发完成，并于2022-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本光罩智能检测清洁存储设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜1、分别设置在所述外柜1内部的放置架6、光罩检测清洁机7、智能机械手8以及存储架9；所述智能机械手8能带动光罩18在所述放置架6、所述光罩检测清洁机7以及所述存储架9之间转移。本发明将放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架集成于外柜内，使得本发明能够集光罩检测、清洁、存储于一体，提高光罩检测存储效率。

本发明授权光罩智能检测清洁存储设备在权利要求书中公布了：1.光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜1、分别设置在所述外柜1内部的放置架6、光罩检测清洁机7、智能机械手8以及存储架9；所述智能机械手8能带动光罩18在所述放置架6、所述光罩检测清洁机7以及所述存储架9之间转移； 所述放置架6包括安装架36和分别设置在所述安装架36上的若干个光罩存放盒定位开启装置37；所述光罩存放盒定位开启装置37包括框体38、分别设置在所述框体38上的下压机构、两个侧面定位机构44以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构44之间形成用于放置光罩存放盒59的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒59，两个所述侧面定位机构44用于从两侧夹持所述光罩存放盒59，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒59的盒门57；所述框体38和或所述侧面定位机构44上设置有用于限定所述光罩存放盒59前后位置的限位伸缩气缸47和限位柱45；框体38上设置有底部导向轮46；框体38的前端设置有前端红外传感器48，框体38的后端设置有后端红外传感器49； 所述侧面定位机构44包括设置在所述框体38上的安装座50和设置在所述安装座50上的侧面导向轮51；所述安装座50上设置有安装槽54，所述安装槽54内安装有安装块52，所述安装块52背向所述光罩存放盒59一侧与所述安装槽54的槽壁之间设置有压缩弹簧53；所述侧面导向轮51设置于所述安装块52上，所述安装块52能在所述安装槽54内移动，且所述安装块52移动时能挤压所述压缩弹簧53；两个所述侧面定位机构44上的所述侧面导向轮51能从两侧夹持所述光罩存放盒59； 所述下压机构包括设置在所述框体38上的压杆39、设置在所述压杆39下端的压轮41和设置在所述压杆39上的扭簧40；所述压杆39能上下转动，且所述压杆39向上转动时能挤压所述扭簧40。

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