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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆清洗设备及其传输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496873B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210086597.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆清洗设备及其传输装置是由王昭;赵宏宇;马宏帅;刘东旭设计研发完成，并于2022-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆清洗设备及其传输装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆清洗设备及其传输装置，所公开的晶圆传输装置包括晶圆装载部、支撑基座、第一调节组件和第二调节组件，其中：晶圆装载部包括装载支架，支撑基座包括支撑基板，装载支架与支撑基板相连，且装载支架在支撑基板的支撑面上位置可调；第一调节组件用于调节装载支架相对支撑基板在第一方向的位置，第二调节组件用于调节装载支架相对支撑基板在第二方向的位置，第一方向与第二方向均与支撑面平行，且第一方向与第二方向不同。上述方案可以解决调节组件调节晶圆装载部在支撑基座的支撑面上的位置时，只能在一个方向进行调节，在其它方向的调节需要手动拆卸后调节而造成的调节精度不高，且调节效率低的问题。

本发明授权晶圆清洗设备及其传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，应用于晶圆清洗设备，所述晶圆清洗设备用于通过机械手抓取位于所述晶圆传输装置上的晶圆放置于工艺槽内，或，通过所述机械手抓取位于所述工艺槽内的所述晶圆放置于所述晶圆传输装置上，其特征在于，所述晶圆传输装置包括晶圆装载部100、支撑基座200、第一调节组件300和第二调节组件400，其中： 所述晶圆装载部100包括装载支架110、晶圆支撑齿120和支撑齿连接板130，所述支撑基座200包括支撑基板210，所述装载支架110与所述支撑基板210相连，且所述装载支架110在所述支撑基板210的支撑面上位置可调，所述装载支架110用于与所述支撑齿连接板130连接，所述晶圆支撑齿120与所述支撑齿连接板130连接，以使所述装载支架110、所述晶圆支撑齿120和所述支撑齿连接板130成为一个整体； 所述第一调节组件300与所述装载支架110配合，且用于调节所述装载支架110相对所述支撑基板210在第一方向的位置，所述第二调节组件400与所述装载支架110配合，且用于调节所述装载支架110相对所述支撑基板210在第二方向的位置，所述第一方向与所述第二方向均与所述支撑面平行，且所述第一方向与所述第二方向不同。

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