北京北方华创微电子装备有限公司徐爽获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利进气组件、工艺腔室及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114613703B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210300785.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权进气组件、工艺腔室及半导体工艺设备是由徐爽;任晓滨;何金正;孙小芹;宫兆辉;刘英伟;邓晓军设计研发完成，并于2022-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气组件、工艺腔室及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种进气组件、工艺腔室及半导体工艺设备，该进气组件包括进气座体和气流调节组件，其中：进气座体具有出气口，用于向工艺腔室内部输送工艺气体；气流调节组件设置在出气口的一侧，且包括支撑部件和多个隔板，其中，隔板与支撑部件连接，支撑部件用于支撑隔板，多个隔板沿进气座体的长度方向间隔排布，相邻的两个隔板之间形成调节通道，隔板能够绕旋转轴线进行旋转，旋转轴线沿进气座体的高度方向延伸，以调节调节通道的出气方向；进气座体的长度方向与出气口的出气方向相互垂直。本发明的技术方案，可以解决因基座不同区域之间的气流浓度存在差异，而造成不同区域之间的外延层厚度一致性差的问题。
本发明授权进气组件、工艺腔室及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种进气组件，应用于半导体工艺设备的工艺腔室中，其特征在于，所述进气组件包括进气座体和气流调节组件，其中： 所述进气座体具有出气口，用于向所述工艺腔室内部输送工艺气体； 所述气流调节组件设置在所述出气口的一侧，且包括支撑部件和多个隔板，其中，所述隔板与所述支撑部件连接，所述支撑部件用于支撑所述隔板，多个所述隔板沿所述进气座体的长度方向间隔排布，相邻的两个所述隔板之间形成调节通道，所述隔板能够绕旋转轴线进行旋转，所述旋转轴线沿所述进气座体的高度方向延伸，以调节所述调节通道的出气方向；所述进气座体的长度方向与所述出气口的出气方向相互垂直， 其中，所述气流调节组件还包括至少一个联动件，每个所述联动件与多个所述隔板连接，用于使与同一个所述联动件连接的多个所述隔板能够联动，以使多个所述隔板旋转的角度相同，不同的所述联动件连接的所述隔板不同。
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