ASML荷兰有限公司张剑获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利使用多波长电荷控制器的带电粒子检查系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114616643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080073929.0，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权使用多波长电荷控制器的带电粒子检查系统和方法是由张剑;叶宁;王義向;方杰设计研发完成，并于2020-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用多波长电荷控制器的带电粒子检查系统和方法在说明书摘要公布了：一种用于检查衬底的装置和检查衬底的方法，其中带电粒子束被布置为撞击衬底的一部分，并且具有第一波长的第一光束和具有第二波长的第二光束也被布置为撞击衬底的一部分，该第二波长与第一波长不同。
本发明授权使用多波长电荷控制器的带电粒子检查系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于检查衬底的装置，所述装置包括： 至少一个带电粒子束源，被布置为将至少一个带电粒子束投射到所述衬底的部分上；以及 多个光源，所述多个光源至少包括： 第一光源，被布置为将具有第一波长的第一光束投射到所述衬底的所述部分上；以及 第二光源，被布置为将具有第二波长的第二光束投射到所述衬底的所述部分上，所述第二波长与所述第一波长不同， 其中所述第一波长被选择为在所述衬底的所述部分中生成热效应以加热所述衬底的所述部分的材料，并且所述第二波长被选择为修改所述衬底的所述部分中的电性质，并且 其中所述衬底的所述部分包括位于所述衬底上的电路结构和缺陷。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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