佳能株式会社藤野康平获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利收纳装置、曝光装置以及物品制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114637168B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111494648.5,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权收纳装置、曝光装置以及物品制造方法是由藤野康平设计研发完成,并于2021-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本收纳装置、曝光装置以及物品制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版,并具有:第1供给部,以形成沿着原版的与图案面相反侧的第1面的第1气流及沿着保护构件的与图案面侧相反侧的第2面的第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体,保护构件与图案面分离设置并保护图案面;第2供给部,以形成与由第1供给部形成的至少一方气流干涉的第3气流的方式吹出并供给气体;以及构件,包括与从第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由第2供给部形成的第3气流的接受面,第1供给部以用于搬送原版的搬送口为基准配置在收纳原版的收纳空间的进深侧,第2供给部以搬送口为基准配置在收纳空间的近前侧。
本发明授权收纳装置、曝光装置以及物品制造方法在权利要求书中公布了:1.一种收纳装置,该收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版,其特征在于, 上述收纳装置具有: 第1供给部,该第1供给部以形成第1气流以及第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体,上述第1气流沿着上述原版的与上述图案面相反侧的第1面,上述第2气流沿着保护构件的与上述图案面那侧相反侧的第2面,上述保护构件与上述图案面分离设置并保护上述图案面; 第2供给部,该第2供给部以形成第3气流的方式吹出并供给气体,上述第3气流与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流干涉;以及 构件,该构件与上述第2供给部相向地设置,包括与从上述第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由上述第2供给部形成的上述第3气流的接受面, 上述第1供给部以用于搬送上述原版的搬送口为基准而配置在收纳上述原版的收纳空间的进深侧, 上述第2供给部以上述搬送口为基准而配置在上述收纳空间的近前侧。
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