上海微电子装备(集团)股份有限公司苏柳元获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利承载装置及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690583B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011643613.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权承载装置及光刻设备是由苏柳元;丛国栋设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载装置及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供的一种承载装置及光刻设备，其通过在承载装置中设置至少一个与承载台连接的支撑件，如此使得运动台沿着水平向进行二自由度运动时，支撑件在运动台的带动下在水平向内发生形变，当支撑件在水平向发生形变时，形变产生的力能够减弱运动台在运动时对承载台的冲击。
本发明授权承载装置及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，其特征在于，包括： 承载台； 至少一个与所述承载台连接的支撑件，所述支撑件用于承载运动台，并在所述运动台沿着水平向进行二自由度运动时，使所述支撑件在所述运动台的带动下在水平向内发生形变，所述支撑件包括两个支撑臂及加强板，两个所述支撑臂相互连接以构成弯折设置的所述支撑件，且两个所述支撑臂具有一夹角，所述加强板设置在所述支撑件远离所述夹角的至少一端部，用于在所述支撑件支撑所述运动台时贴合于所述运动台。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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