TES股份有限公司金宰焕获国家专利权
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龙图腾网获悉TES股份有限公司申请的专利基板接合装置及基板接合方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695238B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111646585.0,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权基板接合装置及基板接合方法是由金宰焕设计研发完成,并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板接合装置及基板接合方法在说明书摘要公布了:本发明提供基板接合装置及基板接合方法,更具体地涉及一种在相互接合基板的情况下,减少基板的接合不良的基板接合装置及基板接合方法。
本发明授权基板接合装置及基板接合方法在权利要求书中公布了:1.一种基板接合装置,其特征在于, 包括: 腔体; 第一卡盘,设置在所述腔体内部而吸附第一基板; 第二卡盘,以朝向所述第一卡盘的方式设置在所述腔体内部,相对于所述第一卡盘而以垂直及水平方向相对移动的方式设置而吸附第二基板;及 排列模块,设置识别所述第一基板的第一排序键及所述第二基板的第二排序键的摄像机单元,并包含能够上下移动的框架, 所述摄像机单元设置: 移动板,能够相对于所述框架而水平方向移动设置; 识别摄像机,设置在所述移动板而识别所述第一排序键或所述第二排序键;及 排序摄像机,用于所述移动板的排列。
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