应用材料公司贝纳切克·梅巴克获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利选择性氧化和简化预清洁获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115053336B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180011894.2，技术领域涉及：H01L21/768；该发明授权选择性氧化和简化预清洁是由贝纳切克·梅巴克;李靖珠;徐翼;雷雨;唐先敏;凯尔文·陈;亚历山大·詹森;菲利普·A·克劳斯设计研发完成，并于2021-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本选择性氧化和简化预清洁在说明书摘要公布了：讨论了用于选择性地氧化包含介电表面和金属表面的基板表面的介电表面的方法。还讨论了清洁包含介电表面和金属表面的基板表面的方法。所公开的方法使用由氢气和氧气产生的等离子体来氧化的介电表面和或清洁基板表面。所公开的方法可在单个步骤中执行，而无需使用单独的竞争性氧化和还原反应。所公开的方法可在恒定温度下和或在单个处理腔室内执行。
本发明授权选择性氧化和简化预清洁在权利要求书中公布了：1.一种方法，包含以下步骤：将包含受损的介电表面和还原的金属表面的基板表面暴露于由包含氢气和氧气的等离子体气体形成的等离子体，以氧化所述受损的介电表面而无需实质上氧化所述还原的金属表面， 其中所述方法将所述受损的介电表面的氧含量增加到约40至约50原子百分比的范围。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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