北京北方华创微电子装备有限公司余江浦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体设备的工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210761713.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体设备的工艺腔室是由余江浦;王岩设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备的工艺腔室在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体设备的工艺腔室，腔室本体上开设有供晶圆传输的传输通道；承载部件设置在腔室本体内，具有用于承载晶圆的承载面；顶针组件设置在承载部件的内部空间中，并能够贯穿承载部件至承载面；驱动组件设置在承载部件的内部空间中，与顶针组件连接，用于驱动顶针组件上升或下降；内门组件设置在腔室本体内；同步组件设置在承载部件的内部空间中，分别与驱动组件和内门组件连接，用于在驱动组件驱动顶针组件上升或下降的同时，同步带动内门组件下降或上升，通过内门组件开启或关闭传输通道。本发明提供的半导体设备的工艺腔室，能够提高半导体设备的工作效率及工作稳定性，并能够降低半导体设备的成本。
本发明授权半导体设备的工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的工艺腔室，其特征在于，包括腔室本体、承载部件、顶针组件、驱动组件、内门组件和同步组件，其中，所述腔室本体上开设有供晶圆传输的传输通道；所述承载部件设置在所述腔室本体内，具有用于承载所述晶圆的承载面；所述顶针组件设置在所述承载部件的内部空间中，并能够贯穿所述承载部件至所述承载面；所述驱动组件设置在所述承载部件的内部空间中，与所述顶针组件连接，用于驱动所述顶针组件上升或下降； 所述内门组件设置在所述腔室本体内；所述同步组件设置在所述承载部件的内部空间中，分别与所述驱动组件和所述内门组件连接，用于在所述驱动组件驱动所述顶针组件上升或下降的同时，同步带动所述内门组件下降或上升，通过所述内门组件开启或关闭所述传输通道。
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