北京北方华创微电子装备有限公司吴启东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115101432B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210697587.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法是由吴启东设计研发完成，并于2022-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法，检测装置在装载腔室内的晶圆盒运动时，检测表征晶圆盒中的晶圆的类型的参数信息；控制器根据参数信息判定晶圆的类型；若判定出晶圆的类型，则确定晶圆在晶圆盒内正常放置，状态正常；若判定不出晶圆的类型，则确定晶圆在晶圆盒内异常放置，状态异常。可见，本申请可检测晶圆的类型，还可确定晶圆的状态，使得装载腔室不再对晶圆的类型有限制要求，则对于工艺加工过程相同但类型不同的晶圆，就可以使用同一装载腔室同时装载，且可以使用同一机台同时加工，从而减少了机台数量，节约了成本，且避免了因装载参数更改产生的减少产能的问题，及因设置多个装载腔室产生的增加设备复杂度的问题。
本发明授权一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载设备，其特征在于，包括： 装载腔室，用于通过晶圆盒装载晶圆； 检测装置，用于在所述装载腔室内的所述晶圆盒运动时，检测表征所述晶圆盒中的所述晶圆的类型的参数信息，所述晶圆的类型为基于以下三个方面的类型：晶圆厚度、晶圆翘曲度和晶圆透明度； 控制器，用于根据表征所述晶圆的类型的参数信息，判定所述晶圆的类型；若判定出所述晶圆的类型，则确定所述晶圆在所述晶圆盒内正常放置，状态正常；若判定不出所述晶圆的类型，则确定所述晶圆在所述晶圆盒内异常放置，状态异常。
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