细美事有限公司郑镇优获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132617B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210306670.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备及基板处理方法是由郑镇优;尹堵铉;李暎熏设计研发完成，并于2022-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理设备及基板处理方法。该基板处理方法包含：用于通过在第一工艺腔室中将处理液体供应至基板来清洁该基板的液体处理步骤；用于在该液体处理步骤之后将基板传送至第二工艺腔室的传送步骤；以及，用于在该第二工艺腔室中将残留在该基板上的该处理液体移除的干燥步骤，并且该方法进一步包含：在液体处理步骤的经液体处理的基板不能传送至该第二工艺腔室时、使经液体处理的基板在第一工艺腔室中待用的待用步骤，以及在待用步骤处排放处理液体直至基板能够传送至第二工艺腔室为止。
本发明授权基板处理设备及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，所述基板处理方法包含以下步骤： 液体处理步骤，所述液体处理步骤通过在第一工艺腔室中将处理液体供应至基板来清洁所述基板； 传送步骤，所述传送步骤用于在所述液体处理步骤之后将所述基板传送至第二工艺腔室；以及 干燥步骤，所述干燥步骤用于在所述第二工艺腔室中将残留在所述基板上的所述处理液体移除， 其中，所述方法进一步包含：待用步骤，在所述液体处理步骤的经液体处理的基板不能传送至所述第二工艺腔室时，使所述经液体处理的基板在所述第一工艺腔室中待用，并且 在所述待用步骤中排放所述处理液体直至所述基板能够传送至所述第二工艺腔室为止。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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