上海微电子装备(集团)股份有限公司程斌斌获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种物镜防污染装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115145122B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110351718.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种物镜防污染装置是由程斌斌;湛宾洲;王成;张洪博;王健设计研发完成，并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物镜防污染装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种物镜防污染装置，属于光刻技术领域。物镜防污染装置包括：进气本体，进气本体的内部设置有进气流道，进气本体的底面开设容纳槽，进气流道设于容纳槽的外周；挡板本体，挡板本体置于容纳槽内，且挡板本体的顶面与容纳槽的槽底间隔设置；挡板本体的顶面开设有第一出气流道，挡板本体的中心贯通形成有上宽下窄的第二出气流道，第一出气流道环绕第二出气流道的外周设置，并与进气流道相连通。本发明能够在装置内部形成稳定且均匀的气帘保护层，起到较佳的防污染效果。
本发明授权一种物镜防污染装置在权利要求书中公布了：1.一种物镜防污染装置，其特征在于，所述物镜防污染装置包括： 进气本体10，所述进气本体10的内部设置有进气流道11，所述进气本体10的底面开设容纳槽12，所述进气流道11设于所述容纳槽12的外周； 挡板本体20，所述挡板本体20置于所述容纳槽12内，且所述挡板本体20的顶面与所述容纳槽12的槽底间隔设置；所述挡板本体20的顶面开设有第一出气流道21，所述挡板本体20的中心贯通形成有上宽下窄的第二出气流道22，所述第一出气流道21环绕所述第二出气流道22的外周设置，并与所述进气流道11相连通； 所述进气流道11与所述第一出气流道21的底部相连通；所述第一出气流道21呈上窄下宽的楔形结构。
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