芝浦机械电子装置株式会社埀野阳子获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利基板干燥装置及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148627B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210282507.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板干燥装置及基板处理装置是由埀野阳子设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板干燥装置及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够减少图案闭塞的发生的基板干燥装置及基板处理装置。本发明的实施方式的基板干燥装置300具有：加热部32，对基板W进行加热；干燥室31，供在被处理面上形成有处理液所形成的液膜的状态的基板W搬入；支撑部34，在远离加热部32的待机位置D上收领搬入到干燥室31内的基板W；以及驱动机构35，使支撑部34上支撑的基板W一边旋转一边朝接近加热部32的干燥位置U移动，通过基板W的旋转带来的离心力使在自身与被加热部32加热后的基板W之间产生了气层的液膜排出。
本发明授权基板干燥装置及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板干燥装置，其特征在于，具有： 加热部，对基板进行加热； 干燥室，收容有所述加热部，供在被处理面上形成有处理液所形成的液膜的状态的所述基板搬入； 支撑部，在远离所述加热部的待机位置上收领搬入到所述干燥室内的所述基板；以及 驱动机构，使所述支撑部上支撑的所述基板一边以能够维持所述液膜的形成状态的转速旋转一边朝接近所述加热部的干燥位置移动，通过所述基板的旋转带来的离心力使在自身与被所述加热部加热后的所述基板之间产生了气层的所述液膜排出。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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