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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利光学系统和光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115398344B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180024578.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光学系统和光刻设备是由M.曼格;M.拉布设计研发完成，并于2021-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学系统和光刻设备在说明书摘要公布了：一种光学系统包括至少一个反射镜以及至少一个致动器装置，该反射镜具有反射镜主体和反射镜表面，该至少一个致动器装置耦合到反射镜主体且用于使反射镜表面变形。致动器装置包括：至少一个电致伸缩致动器元件，用于在反射镜主体中生成用于取决于电驱动电压使反射镜表面变形的机械应力；至少一个电致伸缩传感器元件，用于取决于传感器元件的变形输出传感器信号，其中至少一个传感器元件布置成直接相邻于致动器元件，和或布置成使得至少一个传感器元件至少部分地配置用于将致动器元件生成的机械应力转移到反射镜主体。

本发明授权光学系统和光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光学系统200，具有至少一个反射镜210，所述反射镜210具有反射镜主体212和反射镜表面214，并且所述光学系统具有耦合到所述反射镜主体212、用于使所述反射镜表面214变形的至少一个致动器装置220，其中所述致动器装置220包括： 至少一个电致伸缩致动器元件222，用于在所述反射镜主体212中产生用于取决于电驱动电压VS使所述反射镜表面214变形的机械应力， 至少一个电致伸缩传感器元件224，用于取决于所述传感器元件224的变形输出传感器信号SS，其中所述至少一个传感器元件224布置成直接邻接所述致动器元件222，和或布置在所述反射镜主体212的背离所述反射镜表面214的一侧，并且至少由所述致动器元件222与所述反射镜主体212隔开和或布置成使得所述至少一个传感器元件224至少部分地设置用于将所述致动器元件222产生的机械应力转移到所述反射镜主体212，并且其中 所述致动器装置220耦合到所述反射镜主体212，使得所述反射镜表面214取决于所述致动器元件222的电驱动电压VS可变形，其中所述致动器元件222布置在所述反射镜主体212的背离所述反射镜表面214的一侧， 所述反射镜主体212具有前侧和背离所述前侧的后侧，所述反射镜表面214设置在所述反射镜主体212的所述前侧，以及 所述至少一个电致伸缩致动器元件222布置在所述反射镜主体212的所述后侧。

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