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龙图腾网获悉西安航晨机电科技股份有限公司申请的专利一种熔融石英半球谐振子及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115415858B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211170663.9，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种熔融石英半球谐振子及制备方法是由雷济瑜;陈仲恒;李乐;程瑞昭设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种熔融石英半球谐振子及制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于熔融石英半球谐振子加工制造技术领域，公开了一种熔融石英半球谐振子及制备方法，采用两次退火工序对石英玻璃棒材进行退火，磁流体抛光采用磁流体抛光设备，磁粉采用油基液体作为载体并加配氧化铈；使用工装实现化学抛光以及清洗过程中熔融石英半球谐振子的安全防护；采用多次清洗及超声清洗去除熔融石英半球谐振子表面残留。本发明制备得到的熔融石英半球谐振子具有表面损伤层低、应力小、品质因数高等优点，解决了目前熔融石英半球谐振子加工过程中存在的问题，提高了熔融石英半球谐振子加工效率和提升熔融石英半球谐振子性能指标，实现了熔融石英半球谐振子的工程化应用。

本发明授权一种熔融石英半球谐振子及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种熔融石英半球谐振子的制备方法，其特征在于，所述熔融石英半球谐振子的制备方法采用两次退火工序对石英玻璃棒材进行退火，磁流体抛光采用磁流体抛光设备，磁粉采用油基液体作为载体并加配氧化铈；使用工装实现化学抛光以及清洗过程中熔融石英半球谐振子的安全防护；采用多次清洗及超声清洗去除熔融石英半球谐振子表面残留； 所述熔融石英半球谐振子的制备方法包括以下步骤： 步骤一，对熔融石英玻璃棒材进行粗加工，并对石英玻璃棒材放入真空退火炉中进行一次退火处理； 步骤二，使用精密球面加工磨头对熔融石英半球谐振子外表面成型处理；对熔融石英半球谐振子外表面粗磨合半精磨； 步骤三，对熔融石英半球谐振子外表面采用磁流体设备进行抛光；使用清洗液对熔融石英半球谐振子浸泡清洗，再使用去离子水对熔融石英半球谐振子进行冲洗； 步骤四，使用精密球面加工磨头对所述熔融石英半球谐振子内表面成型处理；对所述熔融石英半球谐振子内表面粗磨合半精磨； 步骤五，对熔融石英半球谐振子外表面采用磁流体设备抛光；使用去离子水对熔融石英半球谐振子清洗； 步骤六，对石英玻璃棒材放入真空退火炉中二次退火处理，并将二次退火后的熔融石英半球谐振子磁流体抛光处理； 步骤七，将熔融石英半球谐振子浸没于化学抛光液中化学抛光；使用去离子水对熔融石英半球谐振子进行清洗； 步骤八，对熔融石英半球谐振子外表面采用磁流体设备进行抛光；使用清洗液对熔融石英半球谐振子浸泡清洗，再使用去离子水对熔融石英半球谐振子进行冲洗； 所述石英玻璃棒材的直径大于待制备的熔融石英半球谐振子最大工艺直径； 所述一次退火和二次退火均包括升温阶段、保温阶段和降温阶段； 所述升温阶段，所述真空退火炉内的温度由室温升至860℃~880℃，升温速率为10℃min~15℃min；炉温由860℃~880℃升至1030℃~1050℃，升温速率为5℃min~10℃min； 所述保温阶段，所述真空退火炉内温度维持在1030℃~1050℃，持续时长480min~540min； 所述降温阶段，所述真空退火炉内温度由1030℃~1050℃以2℃min降温速率降至800℃~820℃，再以3℃min~5℃min降温速率降至350℃~380℃，自然冷却至室温； 所述熔融石英半球谐振子磁流体抛光采用专用磁流体抛光设备，磁粉采用油基液体作为载体，并加配氧化铈作为抛光的成分； 采用磁流体抛光装置对所述熔融石英半球谐振子内外表面采用球面展成原理进行精磨抛光处理；通过磁流体抛光，选用10~15：1的水基磁流体。

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