美国亚德诺半导体公司张江龙获国家专利权
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龙图腾网获悉美国亚德诺半导体公司申请的专利全差分加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115453145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210591363.1,技术领域涉及:G01P15/125;该发明授权全差分加速度计是由张江龙;张欣设计研发完成,并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本全差分加速度计在说明书摘要公布了:本公开涉及全差分加速度计。本文公开具有全差分感测设计的多质量块、多轴微机电系统MEMS加速度计传感器设备的方面,该设计将差分驱动信号应用于可移动的检测质量块并在耦合到基板的感测指处感测差分运动信号。在一些实施方案中,来自不同感测指的电容信号在设置在支撑检测质量块的基板上的感测信号节点处组合在一起。在一些实施方案中,可以提供分体式屏蔽件,其中在检测质量块下方的第一屏蔽件耦合施加到检测质量块的相同驱动信号,并且第二屏蔽件和在感测指下方提供的第一屏蔽件电隔离,并使用恒压偏置以提供和感测指的屏蔽。
本发明授权全差分加速度计在权利要求书中公布了:1.一种差分、多质量块、多轴加速度计,包括: 第一和第二检测质量块,彼此并排且在平面内地布置在基板中,沿平面内X和Y方向可移动,并且被配置为已向其施加差分驱动信号,该差分驱动信号包括施加到所述第一检测质量块的第一极性信号和施加到所述第二检测质量块的第二极性信号; 第一多个感测指,耦合到所述基板,与所述第一和第二检测质量块电容耦合,并且被配置为感测所述第一和第二检测质量块的X方向移动; 第二多个感测指,耦合到所述基板,与所述第一和第二检测质量块电容耦合,并且被配置为感测所述第一和第二检测质量块的Y方向移动, 第一屏蔽件,设置在所述基板上在所述第一检测质量块下方;和 第二屏蔽件,与所述第一屏蔽件电隔离并且设置在所述基板上在所述第一多个感测指中的至少一些感测指下方, 其中所述第一多个感测指被组合地配置为输出差分X方向运动信号,和 其中所述第二多个感测指被组合地配置为输出差分Y方向运动信号。
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