上海微电子装备(集团)股份有限公司黄磊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利可动镜片调整机构及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115542677B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110748371.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权可动镜片调整机构及光刻设备是由黄磊;彭云平设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本可动镜片调整机构及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种可动镜片调整机构及光刻设备，包括：镜组单元和多个位置调整单元；其中，所述镜组单元包括：镜座、镜筒和定心簧片，所述镜座用于固定镜片，且通过所述定心簧片与所述镜筒柔性连接；多个所述位置调整单元沿所述镜筒的周向设置，所述位置调整单元包括：驱动电机和传动组件，所述传动组件包括：柔性连接杆和具有平行四边形柔性铰链的柔性传动块，所述驱动电机用于提供沿所述镜筒的径向的推力以使所述柔性连接杆产生轴向和垂向位移，推动所述柔性传动块以使所述柔性传动块的输出端驱动所述镜座产生沿光轴方向的位移。
本发明授权可动镜片调整机构及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种可动镜片调整机构，其特征在于，包括：镜组单元和多个位置调整单元；其中， 所述镜组单元包括：镜座、镜筒和定心簧片，所述镜座用于固定镜片，且通过所述定心簧片与所述镜筒柔性连接； 多个所述位置调整单元沿所述镜筒的周向设置，所述位置调整单元包括：驱动电机和传动组件，所述传动组件包括：柔性连接杆和具有平行四边形柔性铰链的柔性传动块，所述驱动电机用于提供沿所述镜筒的径向的推力以使所述柔性连接杆产生轴向和垂向位移，推动所述柔性传动块以使所述柔性传动块的输出端驱动所述镜座产生沿光轴方向的位移； 所述位置调整单元还包括：固定于所述柔性传动块的磁铁；所述柔性连接杆的一端与所述驱动电机的工作端连接，所述柔性连接杆的另一端通过磁预紧力与所述磁铁间隙固连； 所述位置调整单元还包括拆除组件，所述拆除组件包括挡片，所述挡片的一端固定于所述柔性传动块，另一端围绕所述柔性连接杆的轴线旋转，当旋转至所述柔性连接杆与所述磁铁之间的间隙时，解除所述柔性连接杆和所述磁铁之间的固连状态。
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