细美事有限公司李东和获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115674909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210754239.2，技术领域涉及：B41J2/175；该发明授权基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置是由李东和;尹大建;李寿洪;金知贤;金大星设计研发完成，并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供通过实时液位测量来维持喷墨头单元的喷嘴液面固定的基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置。所述基板处理液供给单元包括：第一储液器，其与将基板处理液喷出至基板上的喷墨头单元连接，并向喷墨头单元提供基板处理液；液位传感器，其测量储存在第一储液器中的基板处理液的液位；以及压力控制模块，其基于基板处理液的液位变动量来补偿提供至第一储液器的压力，并且使喷墨头单元的喷嘴液面维持固定。
本发明授权基板处理液供给单元以及具备其的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理液供给单元，包括： 第一储液器，其与将基板处理液喷出至基板上的喷墨头单元连接，并且向所述喷墨头单元提供所述基板处理液； 液位传感器，其测量储存在所述第一储液器中的所述基板处理液的液位； 压力控制模块，其基于所述基板处理液的液位变动量来补偿提供至所述第一储液器的压力；以及 第二储液器，其与所述第一储液器连接并向所述第一储液器补充所述基板处理液， 所述基板处理液供给单元使所述喷墨头单元的喷嘴液面维持固定， 所述压力控制模块包括：控制板，其基于基准值以及所述液位传感器的测量值来计算提供至所述第一储液器的压力；以及压力提供部，其基于计算值来补偿提供至所述第一储液器的压力， 所述控制板对所述第二储液器进行控制，以使得在所述压力提供部不能向所述第一储液器提供负压的情况下，将与压力补偿值相应的流量提供至所述第一储液器。
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