北京北方华创微电子装备有限公司高尚获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利立式热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110873090.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权立式热处理设备是由高尚设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本立式热处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种立式热处理设备，其包括工艺腔室和工艺门，其中：工艺腔室具有工艺空间和与工艺空间连通的开口，工艺门在开口与工艺腔室密封配合；工艺门包括基座、承台、分隔盘和驱动装置，基座用于承载工艺腔室；分隔盘安装于基座上，且分隔盘的周向边缘与工艺腔室密封配合，分隔盘将基座与工艺空间分隔开；承台设置于工艺空间内而用于承载晶舟，分隔盘开设有贯通的回转孔，驱动装置安装于基座，且驱动装置通过回转孔与承台连接，以驱动承台转动；承台在回转孔处与分隔盘气密封配合；分隔盘和承台均为石英结构件。上述方案能够解决相关技术中立式热处理设备的工艺门易受损的问题。
本发明授权立式热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种立式热处理设备，其特征在于，包括工艺腔室和工艺门，其中： 所述工艺腔室具有工艺空间和与所述工艺空间连通的开口，所述工艺门在所述开口与所述工艺腔室密封配合； 所述工艺门包括基座、承台、分隔盘和驱动装置，所述基座用于承载所述工艺腔室；所述分隔盘安装于所述基座上，且所述分隔盘的周向边缘与所述工艺腔室密封配合，所述分隔盘将所述基座与所述工艺空间分隔开； 所述承台设置于所述工艺空间内而用于承载晶舟，所述分隔盘开设有贯通的回转孔，所述驱动装置安装于所述基座，且所述驱动装置通过所述回转孔与所述承台连接，以驱动所述承台转动；所述承台在所述回转孔处与所述分隔盘气密封配合； 所述承台具有第二表面，所述第二表面设置有气密封凸部，所述气密封凸部插接配合于所述回转孔，所述气密封凸部与所述回转孔的尺寸相匹配，以形成气密封间隙，以使所述气密封凸部的周侧壁与所述回转孔的孔壁气密封配合； 所述分隔盘和所述承台均为石英结构件。
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