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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶片的传输装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692274B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110839309.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶片的传输装置及半导体工艺设备是由李广义;王锐廷;赵宏宇;杨斌;南建辉;赵曾男设计研发完成，并于2021-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶片的传输装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶片的传输装置及半导体工艺设备，传输装置包括上下料组件100、储存组件200、运载机构400和第一机械手500；储存组件200具有多个储存位210，且至少两个储存位210成一组，储存位210用于存储晶片承载盒；运载机构400用于在上下料组件100存储至少两个晶片承载盒后，同时将上下料组件100上存储的至少两个晶片承载盒传输至第一机械手500；第一机械手500用于将运载机构400传输的至少两个晶片承载盒传输至一组储存位210。上述方案能够解决半导体工艺设备的传输效率较差的问题。

本发明授权一种晶片的传输装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶片的传输装置，其特征在于，包括上下料组件100、储存组件200、运载机构400和第一机械手500； 所述储存组件200具有多个储存位210，且至少两个所述储存位210成一组，所述储存位210用于存储晶片承载盒； 所述运载机构400用于在所述上下料组件100存储至少两个所述晶片承载盒后，同时将所述上下料组件100上存储的至少两个所述晶片承载盒传输至所述第一机械手500； 所述第一机械手500用于将所述运载机构400传输的至少两个所述晶片承载盒传输至一组所述储存位210； 所述传输装置还包括分组机构300，所述分组机构300设置于其中一组所述储存位210的对应位置；所述分组机构300用于对其所对应的一组所述储存位210所存储的所述至少两个晶片承载盒内的晶片进行组合或分解； 所述分组机构300包括至少两个升降部310和至少两个平移部320，一个所述升降部310套装于一个所述平移部320之外；所述升降部310用于带动所述晶片承载盒沿竖直方向移动，所述升降部310在第一位置和第二位置切换，在所述升降部310位于所述第一位置的情况下，所述晶片脱离所述晶片承载盒，且所述晶片转载至所述平移部320；在所述升降部310位于所述第二位置的情况下，所述晶片装入所述晶片承载盒；至少两个所述平移部320，用于沿水平方向靠拢，以对对应的所述晶片承载盒内的晶片进行组合，或者沿水平方向远离，以对对应的所述晶片承载盒内的晶片进行分解。

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