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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利夹爪、张网装置及张网方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115697004B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110864511.8，技术领域涉及：H10K71/16；该发明授权夹爪、张网装置及张网方法是由葛黎黎;贾威威;冯佳林;董浩设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本夹爪、张网装置及张网方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种夹爪、张网装置及张网方法。其中，夹爪中的导向单元包括具有至少两个连接轴的气浮导轨。在拉伸过程中夹持单元受到两个及以上的导向力，避免出现扭转导致的掩模板损坏或偏离目标焊接区域，影响张网精度。并且，反馈单元实时监测掩模板的拉伸位移并反馈至张网装置中的控制单元中，控制单元据此调整驱动单元提供的拉力，不仅提高张网精度，还避免掩模板的拉损。此外，夹爪的驱动单元中还加设了拉伸保护装置，拉伸保护装置可避免掩模板被拉损。当掩模板受到的拉力大于弹性件的弹力设定值时，弹性件增加弹性形变伸出第一框架，带动盖板与第一框架分离，以平衡拉力，减少掩模板的受力，进而保护掩模板免于被拉损，提高产率和经济效益。

本发明授权夹爪、张网装置及张网方法在权利要求书中公布了：1.一种夹爪，用于夹持和拉伸掩模板，其特征在于，包括：夹持单元、导向单元、驱动单元以及反馈单元； 所述夹持单元用于夹持所述掩模板； 所述导向单元包括具有至少两个连接轴的气浮导轨；所述至少两个连接轴分别与所述夹持单元连接，以限定所述夹持单元的运动方向； 所述驱动单元包括第一电动机和拉伸保护装置；所述第一电动机用于驱动所述夹持单元沿限定的运动方向运动，以拉伸所述掩模板；所述拉伸保护装置包括第一框架、弹性件和盖板；所述第一框架的外壁与所述第一电动机相连；所述弹性件设置于所述第一框架内，且其中一端部固定于所述第一框架的内壁上，另一端部与所述盖板连接；所述盖板抵靠并覆盖所述第一框架的一开口，且当所述掩模板受到的拉力大于所述弹性件的弹力设定值时，所述弹性件伸出所述第一框架，并带动所述盖板与所述第一框架分离，以平衡所述拉力； 所述反馈单元包括光栅尺，用于实时监测所述掩模板的拉伸位移；以及， 所述夹持单元包括第二框架、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第四导轨、第一连接件以及第二连接件； 所述第一导轨和所述第二导轨的延伸方向平行，且分别固定于所述第二框架内相对的两侧面上；所述第三导轨沿垂直于所述第一导轨的方向延伸，且固定于所述第二框架内的与所述两侧面相接的一侧面上；所述第四导轨的延伸方向与所述第二导轨的延伸方向呈一倾斜角，且固定于所述第一连接件上； 其中，所述第一导轨、所述第二导轨、所述第三导轨以及所述第四导轨上均设置有一滑块，且所述第一导轨和所述第二导轨上的滑块与所述第一连接件连接，以使所述第一连接件沿所述第一导轨和所述第二导轨的延伸方向运动；所述第三导轨和所述第四导轨上的滑块与所述第二连接件连接，以使所述第一连接件带动所述第四导轨运动时，同时带动所述第二连接件沿所述第三导轨的延伸方向运动。

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