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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115703115B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110892008.3，技术领域涉及：B08B3/10；该发明授权晶圆清洗设备是由林立;宋俊超设计研发完成，并于2021-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明一个或多个实施例公开了一种晶圆清洗设备，用以解决现有的晶圆清洗设备的安全性较低的问题。包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件；工艺槽组件包括槽体、设置于槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；加热控制器件在接收到控制系统发送的加热控制信号时导通，并控制加热器工作；加热控制器件在未接收到加热控制信号时断开，并控制加热器停止工作；自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件；自保护装置用于控制加热控制器件导通或断开；第一安全控制组件串联于加热控制器件和控制系统之间，且与自保护装置连接；第一安全控制组件用于在加热器满足预设断电条件时控制加热控制器件断开。

本发明授权晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件； 所述工艺槽组件包括槽体、设置于所述槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；所述加热控制器件在接收到所述控制系统发送的加热控制信号时导通，并控制所述加热器工作；所述加热控制器件在未接收到所述加热控制信号时断开，并控制所述加热器停止工作； 所述自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件；所述自保护装置用于控制所述加热控制器件导通或断开； 所述第一安全控制组件串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间，且与所述自保护装置连接；所述第一安全控制组件用于在所述加热器满足预设断电条件时控制所述加热控制器件断开； 所述安全保护组件包括第一保护器件，所述第一保护器件包括控制部、第一开关部和第二开关部； 所述第一保护器件的控制部的一端与所述第一保护回路连接，所述第一保护器件的控制部的另一端与所述控制系统连接，所述第一保护器件的第一开关部与所述加热控制器件连接；所述第一保护回路用于控制所述第一保护器件导通或断开； 所述第一安全控制组件包括第一控制器件；所述第一控制器件的开关部串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间，所述第一控制器件的控制部和所述第一保护器件的第二开关部连接。

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