中国科学院半导体研究所林学春获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115770964B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111059052.2，技术领域涉及：B23K26/53；该发明授权一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置及其方法是由林学春;韩世飞;于海娟;何超建;宁超宇;陈雪纯设计研发完成，并于2021-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，包括激光器、光束扩束准直系统、衍射元件以及光束聚焦系统；激光器用以发射激光，光束扩束准直系统设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束；衍射元件用以使激光产生多个衍射级次；光束聚焦系统用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点。本发明是通过引入特定衍射光学元件，并在聚焦光路上加上高频振荡的滤光片，控制在材料内部焦点的聚焦先后顺序，在材料纵向位置上激光一次扫描即可形成多个改质层，从而提高大大提高冷裂效率。
本发明授权一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，包括： 激光器，用以发射激光； 光束扩束准直系统，设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束； 衍射元件，用以使激光产生多个衍射级次，通过控制不经过所述衍射元件的有效焦距和经过所述衍射元件后的有效焦距来控制多焦点之间的间隔；以及， 光束聚焦系统，用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点； 高频振荡器和滤光片，所述滤光片位于所述光束聚焦系统的下方，所述高频振荡器与所述滤光片驱动连接， 其中，所述高频振荡器的振荡的级次为2级振荡，所述高频振荡器的振荡的频率与所述激光器最后选用的激光频率一致，所述高频振荡器的振荡的幅度为所述光束聚焦系统聚焦时在内部焦点的间隔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院半导体研究所，其通讯地址为：100083 北京市海淀区清华东路甲35号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励