嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心孙世娜获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利原子沉积设备的反应物定量控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115852346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211695518.2，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权原子沉积设备的反应物定量控制方法是由孙世娜;陈焰;明帅强;刘振强;毛娃;林永奔;夏洋设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子沉积设备的反应物定量控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种原子沉积设备的反应物定量控制方法、装置、介质以及电子设备。该方法包括:设定各个反应物对应的差压累和阈值，并在未通入反应物时，通入设定流量的载气，获取进气管道处的压强作为第一初始压强；针对各个反应物，通过依次开启各个反应物对应的阀门，获取当前进气管道的压强，以根据所述第一初始压强和各个反应物对应的进气管道的压强，计算当前反应物对应的差压累和值；如果当前反应物对应的差压累和值等于当前反应物设定的差压累和阈值，则关闭当前反应物对应的阀门，以实现反应物的定量控制。本申请提供的技术方案能够提高反应物定量控制的准确性，以及减少反应物的用量，从而提高成膜一致性。
本发明授权原子沉积设备的反应物定量控制方法在权利要求书中公布了：1.一种原子沉积设备的反应物定量控制方法，其特征在于，所述方法包括： 设定各个反应物对应的差压累和阈值，并在未通入反应物时，通入设定流量的载气，获取进气管道处的压强作为第一初始压强； 针对各个反应物，通过依次开启各个反应物对应的阀门，通过反应腔体的进气口处真空计，获取当前进气管道的压强，以根据所述第一初始压强和各个反应物对应的进气管道的压强，计算当前反应物对应的差压累和值； 如果当前反应物对应的差压累和值等于当前反应物设定的差压累和阈值，则关闭当前反应物对应的阀门，以实现反应物的定量控制； 在实现反应物的定量控制之后，获取反应腔体中薄膜的不均匀性； 根据所述不均匀性，调整各个反应物对应的差压累和阈值，以减小所述反应腔体中薄膜的不均匀性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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