先导薄膜材料有限公司陆杨军获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料有限公司申请的专利靶材加工定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115890288B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211503593.4，技术领域涉及：B23Q3/06；该发明授权靶材加工定位装置是由陆杨军;郭庆生;蒋波;赖家俊设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶材加工定位装置在说明书摘要公布了：本发明公开了靶材加工定位装置，涉及靶材加工技术领域，包括工作台，所述工作台的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板，所述承托板的中部设置有送气台，所述送气台的中部开设有若干个中心通气口，若干个所述中心通气口的内壁均固定连接有悬浮送气管；所述承托板的顶部边沿开设有若干个侧边通气孔，所述承托板的下方设置有若干个侧边送气单元；本发明通过设置悬浮单元，在进行靶材的夹持定位操作时，向靶材底面通气使得靶材悬浮，以此减少定位单元在夹持推移靶材移动的过程中，靶材底面与设备间的接触磨损，以此提高靶材的质量。
本发明授权靶材加工定位装置在权利要求书中公布了：1.靶材加工定位装置，其特征在于，包括工作台1，所述工作台1的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板5，所述承托板5的中部设置有送气台8，所述送气台8的中部开设有若干个中心通气口，若干个所述中心通气口的内壁均固定连接有悬浮送气管9；所述承托板5的顶部边沿开设有若干个侧边通气孔6，所述承托板5的下方设置有若干个侧边送气单元； 所述侧边送气单元包括送气盒15，所述送气盒15的顶部固定连接有侧边通气管18，所述侧边通气管18的顶部与通气孔的顶部对应设置，所述送气盒15的一侧固定连接有进气软管16；所述侧边送气单元还包括用于对送气盒15进行移位调节的移位机构，所述移位机构包括升降气缸17，所述升降气缸17的输出端固定安装有平移导轨14，所述送气盒15滑动安装于平移导轨14内。
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