安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司郭中洋获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司申请的专利一种采用多振子耦合的微机械谐振器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115967367B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211640819.5，技术领域涉及：H03H9/205；该发明授权一种采用多振子耦合的微机械谐振器是由郭中洋设计研发完成，并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种采用多振子耦合的微机械谐振器在说明书摘要公布了：本发明公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁与锚点相连，振子、耦合梁、支撑梁、锚点共同组成框架结构，驱动检测电极位于振子上面、振子内部和或振子外部。本发明采用多个振子，且各振子之间相互耦合，可以利用其中一个或多个振子进行驱动，剩余的振子进行检测，实现驱动电极和检测电极在空间上隔离，降低驱动信号到检测端的耦合；采用驱动振子和检测振子分开，便于使用差分的方式对振子进行驱动或检测，提高谐振器抗干扰能力。
本发明授权一种采用多振子耦合的微机械谐振器在权利要求书中公布了：1.一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点；所述的驱动检测电极位于振子上面、振子内部和或振子外部，振子与耦合梁端部相连，耦合梁的中间区域与支撑梁的一端相连，支撑梁的另一端与锚点相连，振子、耦合梁、支撑梁和锚点共同组成框架结构，框架结构通过锚点固定，所述的振子、驱动检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布； 其特征在于： 在振子与耦合梁的连接处设置耦合梁细颈，在耦合梁与支撑梁的连接处设置支撑梁细颈，在支撑梁与锚点的连接处设置锚点槽。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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